El trabajo de limpieza del tubo de cuarzo no es tan sencillo como se imagina. El cuarzo fuerte resolvió los asuntos de limpieza detallados, de modo que cada paso del trabajo de limpieza sea muy transparente. Vamos a ver.
1. Todo el proceso de limpieza del tubo de cuarzo debe llevarse a cabo en estricta conformidad con las normas de seguridad relacionadas con el proceso de difusión.
2. Si se utiliza solución de ácido fluorhídrico en el tanque de limpieza, se pueden agregar 10 botellas de ácido fluorhídrico si la solución no está sucia (asignado por el personal de producción); Si la solución de ácido fluorhídrico original está sucia, el tanque debe vaciarse y limpiarse por completo, y luego se debe notificar al personal de producción para que mezcle la solución; Si no queda solución de ácido fluorhídrico en el tanque, lávelo y solicite al personal de producción que mezcle la solución.
3. El personal de limpieza debe usar gafas protectoras y guantes a prueba de ácido, y luego colocar el tubo de cuarzo de repuesto en la ranura cerca del interior de la máquina de limpieza de tubos de cuarzo, con la boca del tubo hacia la sala de cachemira y la cola del tubo apuntando hacia el dirección del horno de difusión. Tire hacia abajo de la puerta protectora, configure el tiempo de limpieza del tanque de ácido en 30 minutos y presione el botón "inicio del tanque de ácido" en el panel de control.
4. Configuración del tiempo de limpieza del tanque de ácido:
El nuevo tubo de cuarzo solo tarda unos 30 minutos en limpiarse. Si se utiliza un tubo de cuarzo, debe adherirse a la pared del pentóxido de fósforo blanco todo el tiempo prevalecerá. La limpieza de tuberías usadas puede llevar uno o dos días. Cuando el tanque de ácido no se enciende, el tubo de cuarzo debe girarse 180° cada 2 horas.
5. El personal de limpieza debe usar gafas y guantes protectores, sacar el tubo de cuarzo del tanque de ácido y colocarlo suavemente en el tanque de agua. Drene el agua del tanque y lave las paredes internas y externas del tubo de cuarzo con una pistola de agua durante unos 5 minutos. No presione el botón de "inicio del fregadero" cuando lave la pared interna del tubo de cuarzo. Si se ha presionado, vuelva a presionar el botón "fin del fregadero". Luego tire de la pistola de agua hacia la boca del tubo de cuarzo y enjuague la pared interior del tubo desde la boca hasta el final. Enjuague cuidadosamente, no tenga áreas residuales sin enjuagar. Después de 2 minutos, gire el tubo de cuarzo 180° y enjuague de la misma manera durante 2 minutos.
6. Vierta agua pura en el tanque y el nivel del agua debe llegar hasta el tubo de ventilación central en la cola del tubo de cuarzo. Tire hacia abajo de la puerta protectora, luego configure el tiempo de limpieza del fregadero en 30 minutos y presione el botón de "inicio del fregadero".
7. Repita el paso 6 y vuelva a lavar.
8. Cuando el fregadero esté terminado, vacíe el agua del fregadero. Luego, enjuague el tubo de cuarzo/pared exterior con una pistola de agua como en el paso 5 anterior. Lavar principalmente la pared interior. Aproximadamente 5 minutos más tarde, enjuague los cuatro pequeños tubos de ventilación al final del tubo con pistola de agua, que también son la pared interior del tubo. Enjuague durante 2 minutos antes de continuar con el enjuague de la boquilla. El tiempo de limpieza de este paso no debe ser inferior a 15 minutos, y ningún resto de fosfuro granular en las paredes internas y externas del tubo debe ser el símbolo de una limpieza limpia.
9. Después de la limpieza, coloque el tubo de cuarzo en la posición designada de la sala de purificación y coloque la espuma especial debajo.
10. Selle la boquilla y el tubo de escape con papel de aluminio especial.
Como se puede ver en el contenido anterior, el trabajo de limpieza del tubo de cuarzo es muy cuidadoso y el personal relevante del tubo de cuarzo debe prestar más atención a oh.